Date：2025-04-23 Number：813
多層軟硬結合板因兼具高密度集成與柔性彎折特性，在 5G 通信、智能穿戴設備等領域廣泛應用，而層間互聯工藝是保障其信號傳輸完整性與機械可靠性的核心技術。多層軟硬結合板由剛性層、柔性層交替堆疊而成，各層間需建立穩定的電氣連接，同時要適應彎曲變形需求，這對互聯工藝提出了高精度、高可靠性的要求。
在互聯結構設計層面，常見的互聯方式包括通孔、盲孔、埋孔及微盲孔。通孔貫穿整個多層板，用于實現全層電氣連接，適用于對信號傳輸要求相對較低的場景；盲孔從表層延伸至內部特定層，減少了信號傳輸路徑中的寄生參數，提升信號完整性；埋孔則在內部層之間建立連接，不暴露于板表面，可有效節省布線空間；微盲孔憑借更小的孔徑和孔深，進一步提高了互聯密度，滿足高速信號傳輸需求。不同互聯方式的選擇需綜合考慮信號頻率、傳輸速率、板層數量及成本等因素。
工藝實施過程涵蓋鉆孔、孔金屬化、電鍍等關鍵步驟。鉆孔工序采用激光鉆孔或機械鉆孔技術，激光鉆孔利用高能量激光束瞬間氣化材料，可實現微小孔徑和高精度加工，尤其適用于微盲孔制作；機械鉆孔則通過高速旋轉的鉆頭進行加工，適合較大孔徑的通孔制作。孔金屬化是在鉆孔后的絕緣孔壁上沉積一層導電金屬，形成電氣連接通道，常用的方法有化學鍍銅和物理氣相沉積（PVD），化學鍍銅通過化學還原反應在孔壁均勻沉積銅層，PVD 則利用物理濺射原理實現金屬沉積，兩者均需確保孔壁金屬層的連續性和均勻性。電鍍工序進一步增厚孔內及表面的金屬層，增強導電性和機械強度，通過控制電鍍液成分、電流密度和電鍍時間，保證金屬層厚度符合設計要求。
層間對準與壓合是保障互聯精度的重要環節。在多層板堆疊過程中，采用高精度定位系統（如銷釘定位、光學定位）確保各層之間的[敏感詞]對準，誤差需控制在微米級。壓合工序通過高溫高壓使絕緣材料熔融并固化，將各層緊密結合，同時需嚴格控制溫度曲線、壓力大小和保壓時間，避免出現層間分層、氣泡等缺陷。此外，為提升層間互聯的可靠性，還需進行填充和塞孔處理，使用樹脂或導電膠填充盲孔和埋孔，防止信號干擾和機械損傷。
質量檢測貫穿多層軟硬結合板層間互聯工藝的全過程。通過 X 射線檢測觀察孔內金屬化質量和層間對準情況，使用掃描電子顯微鏡（SEM）分析孔壁微觀結構，借助飛針測試儀和網絡分析儀測試電氣性能，確保層間互聯滿足設計要求，使多層軟硬結合板在復雜應用場景中穩定運行。
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