發布時間：2025-06-25 瀏覽量：745
高密度互連軟硬結合板集成了剛性板的穩定性與柔性板的可彎折性，其微孔加工質量直接影響電氣性能、信號傳輸及整體可靠性。為實現微孔的高精度、高質量加工，多種技術應運而生，不同加工技術在原理、適用性和優缺點上各有差異，需根據實際需求合理選擇。
激光加工技術憑借非接觸式加工優勢，在微孔加工中應用廣泛。它利用高能激光束瞬間作用于板材，使材料蒸發或汽化形成微孔。該技術加工精度高，能夠實現極小的孔徑，且加工過程中無機械應力，對剛性和柔性材料都有良好的適應性，尤其適合加工復雜形狀的微孔。在軟硬結合板的柔性區域，激光加工不會因機械力導致材料變形或分層。不過，激光加工產生的高溫可能會使孔壁產生炭化、殘渣等問題，需要后續進行專門的清潔處理，以確保孔壁質量和電鍍效果。
等離子體蝕刻技術基于等離子體與材料的化學反應實現微孔加工。等離子體中的活性粒子與板材表面材料發生反應，逐層去除材料從而形成微孔。這種方法加工的微孔側壁垂直度高、表面光滑，能有效減少孔壁粗糙度帶來的信號損耗，對提升高密度互連軟硬結合板的電氣性能有顯著作用。但等離子體蝕刻技術設備成本高，加工效率相對較低，且對工藝參數控制要求極為嚴格，微小的參數波動都可能影響蝕刻效果，在大規模生產中需要更高的工藝管控能力。
機械鉆孔技術作為傳統加工方式，通過高速旋轉的微小鉆頭對板材進行切削來形成微孔。其優勢在于設備成本較低，加工效率高，適合加工孔徑較大的微孔。對于剛性材料組成的部分，機械鉆孔能夠保證較高的加工精度和孔壁質量。然而，在加工高密度、微小孔徑的微孔時，鉆頭容易磨損和折斷，且加工過程中產生的機械力可能導致軟硬結合板的柔性區域出現分層、撕裂等問題，同時孔壁粗糙度較大，不利于后續的電鍍和電氣連接。
化學蝕刻技術利用蝕刻液與板材材料的化學反應溶解去除材料，從而形成微孔。該方法能夠實現均勻的蝕刻效果，對于一些對精度要求不是極高但需要大面積加工微孔的場景較為適用。化學蝕刻加工過程相對溫和，不會對軟硬結合板造成機械損傷，適合柔性材料部分的加工。但化學蝕刻的加工精度有限，難以實現高精度、高深寬比的微孔加工，且蝕刻液的處理和回收存在環保問題，需要配套的處理設施。
高密度互連軟硬結合板的微孔加工技術各有優劣，激光加工的高精度、等離子體蝕刻的高質量孔壁、機械鉆孔的高效低成本以及化學蝕刻的溫和加工特性，為不同需求提供了多樣化選擇。在實際生產中，通常會結合多種技術，取長補短，以滿足高密度互連軟硬結合板對微孔加工在精度、質量和效率等方面的綜合要求。
